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硅片缺陷检测解决方案检测系统

硅片是制作晶体管和集成电路的质料。一样平常是单晶硅的切片。硅片,是制作集成电路的主要质料。光伏行业近年来越来越重视硅片等产物的质量检测,以往常见的硅片会泛起尺寸不及格、崩边、隐裂等问题。那么是若何解决这一问题的呢?下面和我一起去看看吧, 【瑕疵问题】,尺寸不及格、崩边、隐裂,四边发生缺角、破碎等缺陷问题。如这些缺陷不能即时快速的被发现,将会影响到的产物的质量, 【解决方式】,我们运用机械视觉的原理,对生产线上的硅片举行实时图像摄取,并通过专门开发的图像处置剖析软件对图像举行剖析,判断硅片周围是否有缺陷。如检测到有缺陷,就会通过声、光报警提醒操作职员实时处置。同时缺陷硅片的图像被存储到盘算机,供事后查询、剖析。, 【硅片在线检测工艺流程】, , 【产物特点】,1、深度算法:可以凭证不良品综合多维度的界限特征,举行训练,做到许多传统算法不能做到的检测项目,不停提高检测精度;,2、缺陷标识:发现瑕疵时可举行声光报警,同时产物幅面边缘可以举行自动符号,提醒实时修复,阻止大量缺陷产物的发生;,3、信息打印:在检测到瑕疵时系统会自动统计出当前瑕疵的图像、面积、位置、巨细等信息,同时可毗邻打印机选择打印信息;,4、数据库治理:可以对生产的每卷质料举行准确的质量统计,详细的缺陷纪录和统计为生产工艺及装备状态提供了利便,有用保证产物质量;,5、系统联动:当系统检测到疵点时举行声光报警,也可在系统中加入其它连锁I/O输出;,6、统计剖析:功效厚实的OA软件,具备存贮、报警、统计剖析、报表等功效;, 【检测效果】,通过不停优化模板设置,举行大批量的测试,检测系统可检出异常细小的崩边、隐裂,四边发生缺角、破碎等缺陷问题。这些硅片的提前剔除为提升后道工序的品质、削减后续工艺虚耗有主要意义。且检出>99%,误检率<0.05%,响应时间0.1s,获得了客户的认可。,,小结:现在解决硅片检测的主要方式是依托机械视觉手艺举行解决,通过在线 手艺实现对人工检测的替换,提升检测的准确性和削减人力成本。

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